Design, fabrication and sensing application of hierarchical microstructures based on micro/nano fibers
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摘要: 微结构化是提高柔性压力传感器性能的重要技术手段之一，本文提出一种基于微纳米纤维的多层次微结构设计与快速制备方法。首先采用近场直写与熔融沉积成型一体化成形工艺制备出具有多尺度纤维的牺牲支架，在聚二甲基硅氧烷(Polydimethylsiloxane，PDMS)中掺杂碳纳米管(Carbon nanotubes，CNTs)作为柔性传感器的介电层材料，通过牺牲模板法制备出具有多层次微结构的CNTs/PDMS柔性介电层；进一步研究了多层次微结构的设计参数对其传感性能的影响。实验结果表明：设计的微结构能显著增强柔性传感器的输出电性能。其中高度为1.3 mm、间距为1.5 mm的多层次微结构在频率为3 Hz、压力载荷为14 N下输出电性能最为优异；此外，制备的传感器经过20000次循环测试，表现出良好的稳定性与耐久性。最后，设计了一款用于观察足底压力分布及步态检测的柔性压力传感鞋垫，结果表现出良好灵敏度和稳定性。本文为低成本快速制备多层次微结构提供新的思路，为制备高性能柔性压力传感器提供参考与借鉴。Abstract: Microstructuring is one of the important techniques to improve the performance of flexible pressure sensors. In this paper, a method for designing and fabricating hierarchical microstructures based on micro/nano fibers was proposed. First, a sacrificial mold with hierarchical microstructures was prepared by integrating near-field direct writing and fused deposition modeling. Carbon nanotubes (CNTs) were doped into polydimethylsiloxane (PDMS) as the dielectric layer material for the flexible sensor. The CNTs/PDMS flexible dielectric layer with hierarchical microstructures was then prepared by sacrificial template method. Furthermore, the effect of design parameters of hierarchical microstructures on the sensing performance was studied. The experimental results show that the designed microstructures can significantly enhance the output electrical performance of the flexible sensor. Among them, the hierarchical microstructure with a height of 1.3 mm and a spacing of 1.5 mm exhibits the best output electrical performance under a pressure load of 14 N at a frequency of 3 Hz. In addition, the fabricated sensor exhibits good stability and durability after 20000 cycles of testing. Finally, a flexible pressure sensing insole was designed for observing the distribution of foot pressure and gait detection, which demonstrates good sensitivity and stability. This study provides a new approach for low-cost and rapid fabrication of hierarchical microstructures and serves as a reference for the development of high-performance flexible pressure sensors.
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城市化及工业化的快速发展极大地促进了水泥制品的产出，随即引发的一系列环境问题，如巨大能源资源消耗、二氧化碳及其他温室气体排放等引起了全世界的强烈担忧[1]。为此，国内外学者做出了巨大的努力来降低其环境负面效应并寻求可替代方案。凭借绿色可持续性[2-3]，碱激发材料(Alkali-activated material，AAM)近年来获得了广泛关注[4-6]。然而，类似于普通混凝土，AAM脆性大及抗拉强度低等缺点从一定程度上限制了该材料的推广应用。
借鉴高延性水泥基复合材料的设计理念，在AAM体系中引入适量纤维，研制出了高延性碱激发纤维增强复合材料(Alkali-activated fiber reinforced composites，AAFRC)；相似地，伴随有多条细密裂缝开裂的应变硬化行为也是AAFRC的显著特征[7-9]。
赤泥(RM，也称铝土矿渣)是精制铝/氧化铝过程中产出的固体废物[10]，每生产1吨氧化铝就会产出1.0~1.5吨的RM[11]。大量RM被随机存储在蓄水库或干堆在田地中，并没有得到有效的再利用[12]，如何开发RM的潜在资源化利用已经成为一个亟需解决的问题。
尽管人们从不同角度对赤泥进行了大量的再利用尝试，包括作为吸收剂、中和剂、混凝剂和催化剂及从中回收铁、铝等有价金属和一些稀土元素[10,13]，且取得了一些进展，但由于一些技术或经济限制[14]，仅在这些领域回收利用如此大量的RM仍是不切实际的。考虑到RM潜在的火山灰效应[15]，土木工程领域的应用有望使其成为可能。近年来相关报道表明，RM已成功被用于制造水泥、砖和混凝土等建筑材料[16]；且也开展了以RM为原料生产AAM的研究。例如，He等[17]提出了一种基于混合RM和稻壳灰的新型AAM；Ye等[18]利用碱热RM合成了单组分AAM；Hu等[19]在低浓度NaOH激发下制备了一种RM-粉煤灰AAM。值得注意的是，现有RM-AAM的强度在大多数情况下无法与普通混凝土相比，即
⩽ 20 MPa [17-19]；而且类似于传统AAM的脆性缺点依然存在，这些弊端阻碍了该材料的实际工程应用。基于此，本文采用RM混合矿渣和硅灰并掺加聚乙烯(PE)纤维制备中高强、高延性的碱激发复合材料，通过单轴拉、压试验探究其宏观力学性能，结合三点抗弯与单裂缝拉伸等细观试验探究其高延性机制，并基于XRD及FTIR技术分析其水化产物，以期为RM的高附加值资源化利用提供新思路。
1. 试验材料及方法
1.1 原材料
赤泥(RM，山东魏桥创业集团有限公司)、矿渣(GGBS，河北天岩矿业公司)、硅灰(SF，山东温特实业有限公司)、普通河砂、自来水、碱激发剂及PE纤维(浙江全米特新材料科技有限公司)。其中，RM、GGBS及SF的主要化学组成见表1，其粒径分布见图1；碱激发剂由模数为3.3的水玻璃(山东优索化工有限公司)及99%的NaOH颗粒(国药集团化学药剂有限公司)配制而成；PE纤维性能参数如下：直径24 μm，长度12 mm，密度980 kg/m3，弹性模量110 GPa，抗拉强度3000 MPa，伸长率2%~3%。
表 1 赤泥(RM)、矿渣(GGBS)及硅灰(SF)的化学组成Table 1. Chemical compositions of red mud (RM), ground granulated blast furnace slag (GGBS) and silica fume (SF)wt% Material CaO SiO2 Al2O3 Fe2O3 MgO SO3 TiO2 Na2O K2O P2O5 RM 0.46 10.18 17.43 53.79 0.12 0.76 – 7.74 0.07 0.20 GGBS 44.39 33.20 13.20 0.38 6.31 – 0.82 0.33 0.28 – SF 0.49 92.26 0.89 1.97 0.96 – – 0.42 1.31 – 1.2 配合比及试件制备
基于前期预试验(0wt%~60wt%RM取代GGBS和SF)结果，选用40wt%RM掺量开展本研究。试件的具体配合比见表2，水胶比为0.39，PE/GGBS-SF为不含RM的对照组。
表 2 高延性碱激发纤维增强复合材料(AAFRC)配合比Table 2. Mixture proportion of alkali-activated fiber reinforced composites (AAFRC)Mixture RM/wt% SF/wt% GGBS/wt% Sand/wt% NaOH/wt% Na2SiO3/wt% Water/wt% Polyethylene
(PE) fiber/vol%PE/GGBS-SF 0.00 10.33 44.77 14.50 3.00 13.70 12.60 1.90 PE/RM-GGBS-SF 22.04 6.20 26.86 14.50 3.00 13.70 12.60 1.90 试件制备过程：将RM、GGBS、SF及砂按表2中配比倒入容量为5 L的水泥胶砂搅拌机慢速搅拌2~4 min，使原料混合均匀；将水和碱激发剂(Na2SiO3和NaOH提前配制冷却至室温)倒入，快速搅拌3~5 min直至浆体具有一定流动度；加入PE纤维，快速搅拌5~8 min，使纤维均匀分散。搅拌完毕后，立即将拌合物装入模具振捣密实，放置于实验室环境(温度为20℃~22℃、相对湿度为70%±5%)中养护24 h后脱模；试块表面覆盖保鲜膜，放置于80℃的烘箱中加热2 h后继续在室温中养护至28天。
1.3 试验方法
1.3.1 单轴拉伸及抗压试验
单轴拉伸试件为“狗骨状”[20]，中间标准段长度为80 mm，具体尺寸详见图2。采用济南川佰仪器设备有限公司生产的WDW-300型电子万能试验机，加载速度为0.3 mm/min。试验时，试件两边分别固定一套位移传感器(Linear variable displacement transducers，LVDT)记录标准段长度的变化，取两个测量结果的平均值来计算拉伸应变。
参考ASTM C109[21]，选用边长为50 mm的立方体试件进行抗压试验，加载速率为1.5 mm/min。注意保证试件承压表面的平整度，以最大程度地减少测试过程中的不确定性。
1.3.2 三点抗弯及单裂缝拉伸试验
为探究基体韧度对AAFRC拉伸延性的影响，根据ASTM E399[22]进行三点抗弯试验。首先依照表2配合比制作尺寸为354 mm×75 mm×40 mm的无纤维棱柱体试件，然后采用1.2中养护方法将试件养护至28天；试验前，用切割机在试件的中部底端切出一个30 mm深的切口(图3)，试验时试件底部跨径为300 mm，加载速率为0.3 mm/min。
通过单裂缝拉伸试验[23]，获得纤维最大桥接应力σoc和纤维桥接余能Jb′。试件形状为“小狗骨”(图4)；养护至28天后，在试件中心分别沿宽度、厚度方向切割6.5 mm、2 mm深的凹槽(宽度小于0.6 mm)，以便形成单裂缝。
1.3.3 水化产物分析
采用D8 Advance Bruker型XRD测试仪(赛默飞世尔(中国)科技有限公司)与Tensor-Bruker型光谱仪(德国布鲁克AXS有限公司)分析PE/RM-GGBS-SF的水化产物。为了避免砂和纤维的影响，根据表2配制不含砂和纤维的净浆试件，养护至28天后磨成粉末用于微观分析。
2. 结果与讨论
2.1 两种AAFRC拉伸性能
两种AAFRC的典型拉伸应力-应变曲线如图5所示。初裂强度(初始裂缝的拉伸应力)、抗拉强度(极限拉伸应力)及拉伸应变(极限拉伸应力对应的应变)详见表3。
可以看出，RM的引入导致AAFRC的初裂、抗拉强度均有所下降。与参照试件(PE/GGBS-SF)相比，PE/RM-GGBS-SF的初裂强度降低了12.1%，为(1.89±0.41) MPa；抗拉强度降低了26.4%，为(2.43±0.04) MPa。在碱激发体系中，CaO与SiO2是生成胶凝产物、贡献强度的重要组分。由表1可知，RM中CaO与SiO2的含量明显低于GGBS和SF (即CaO：0.46wt% vs 44.39wt%+0.49wt%，SiO2：10.18wt% vs 33.20wt%+92.26wt%)；且RM中的SiO2主要以石英相的形式存在[16]。RM的掺入会明显减少体系内Ca、Si含量，从而减少水化凝胶产物的生成，导致强度降低。同时，由图1可知，绝大多数RM的粒径大于GGBS和SF，RM的引入可能会降低基体的密实度，从而对强度不利。另一方面，RM中包含较多的碱金属(Na2O+K2O=7.74%+0.07%)，导致复合材料体系内的碱性得以提升，有利于强度的发展[24]。当前试验结果可认为由上述机制共同作用产生，强度的降低则说明，本研究中反应组分减少及RM较大粒径带来的不利影响可能占主导地位。
表 3 AAFRC的拉伸性能Table 3. Tensile properties of AAFRCMixture Initial cracking strength/MPa Tensile strength/MPa Tensile strain/% PE/GGBS-SF 2.15±0.13 3.30±0.13 3.07±0.32 PE/RM-GGBS-SF 1.89±0.41 2.43±0.04 3.58±0.11 对比二者拉伸应变发现，RM的引入提高了AAFRC的拉伸延性；相比参照试件，PE/RM-GGBS-SF的拉伸应变增加了16.6%，高达3.5%。纤维增强脆性基体复合材料的拉伸延性受基体初裂强度的影响，通常情况下，初裂强度越低，获得较大应变的可能性越大[23]。仅从这点来看，当前的应变结果可以通过基体初裂强度的变化合理地得以解释。不过，具体的应变机制比较复杂，更多的参数(包括基体、纤维、基体-纤维界面特性等)都影响着试件的拉伸行为，进一步的讨论将在2.3节(基于细观试验[25])给出。
2.2 两种AAFRC抗压强度
表4为两种AAFRC的抗压强度，其中PE/GGBS-SF抗压强度为(69.13±2.16) MPa，PE/RM-GGBS-SF抗压强度为(48.83±1.86) MPa。掺入RM后，抗压强度降低了29.4%。抗压强度与初裂、抗拉强度的变化相似，表明上述强度变化机制可能也同样适用于抗压强度。也即，反应组分减少导致胶凝产物含量降低及较大粒径RM引入导致基体的不致密，可能也是抗压强度减少的主要原因。总体来看，尽管RM的引入使AAFRC的强度有所下降，但仍处于较高水平，近50 MPa的抗压强度可满足大部分工程的使用要求；且拉伸应变水平与高延性水泥基复合材料近乎相当[26]。因此，可以认为RM制备高延性碱激发复合材料具有一定的可行性，这为实现其大规模、高附加值的资源化利用提供了新的思路。
表 4 AAFRC抗压强度Table 4. Compressive strength of AAFRCMixture Compressive strength/MPa PE/GGBS-SF 69.13±2.16 PE/RM-GGBS-SF 48.83±1.86 2.3 AAFRC高延性机制
纤维增强脆性基体复合材料产生应变硬化行为需要满足两个核心准则[23]：(1) 强度准则：基体初始开裂强度σcr必须小于纤维最大桥接应力σoc；(2) 能量准则：基体断裂能Jtip不得超过纤维桥接余能Jb′。此外，两个应变硬化性能指数PSHS(强度指数，σoc/σcr)和PSHE(能量指数，Jb′/Jtip) 可用来评估复合材料的应变硬化潜力，饱和应变硬化行为的实现需要满足两个更严格的条件：(1) PSHS
\geqslant 1.20~1.35；(2) PSHE\geqslant 2.7~3.0[27-28]。理论上，PSH指标越大，越容易获取较高的拉伸延性[25]。基于三点抗弯试验得到的峰值荷载FQ，按照以下各式可计算出基体断裂韧度Km和基体断裂能Jtip：
{K}_{\mathrm{m}}=\frac{1.5\left({F}_{\mathrm{Q}}+\dfrac{mg}{2} \times{10}^{-3}\right)\times {10}^{-3} S {{a}_{0}}^{0.5}}{t{h}^{2}}f \left(\alpha \right) (1) f \left(\alpha \right)=\frac{1.99-\alpha \left(1-\alpha \right)\left(2.15-3.93\alpha +2.7{\alpha }^{2}\right)}{\left(1+2\alpha \right){\left(1-\alpha \right)}^{\frac{3}{2}}} (2) \alpha ={a}_{0}/h (3) {J}_{\mathrm{t}\mathrm{i}\mathrm{p}}=\frac{{{K}_{\mathrm{m}}}^{2}}{{E}_{\mathrm{m}}} (4) 式中：m为试件质量；S为试件跨度；a0为切槽深度；t和h分别为试件宽度和高度；Em为拉伸试验获得的弹性模量；f(α)为形状参数；g=9.8 N/kg。
结果详见表5。可以看出，相比于对照试件，PE/RM-GGBS-SF的Km表现出下降趋势，与基体初裂强度的变化相一致；基体断裂能Jtip也从(5.05±0.23) J·m−2减小至(4.28±0.75) J·m−2，较小的Jtip有利于获得较大的
{J}_{\mathrm{b}}{{{'}}}/{J}_{\mathrm{tip}} ，这从一定程度上反映了PE/RM-GGBS-SF获取较高拉伸应变(延性)的潜能，或者认为RM的掺入使基体趋于多缝开裂：{J}_{\mathrm{b}}{{{'}}}={\sigma }_{\mathrm{o}\mathrm{c}}{\delta }_{\mathrm{o}\mathrm{c}}-{\int }_{0}^{{\delta }_{\mathrm{o}\mathrm{c}}}\sigma \left(\delta \right)\mathrm{d}\delta (5) 式中：σoc和δoc分别为纤维最大桥接应力与对应的裂缝开口位移；σ(δ)为纤维桥接应力。
表 5 AAFRC的基体断裂韧度与基体断裂能Table 5. Matrix fracture toughness and fracture energy of AAFRCMixture Mass m/kg Peak load FQ/kN Km/(MPa·m1/2) Jtip/(J·m−2) PE/GGBS-SF 1.99±0.06 0.27±0.03 0.30±0.05 5.05±0.23 PE/RM-GGBS-SF 2.03±0.05 0.23±0.04 0.26±0.07 4.28±0.75 Notes: Km—Fracture toughness of matrix; Jtip—Fracture energy of matrix. 单裂缝拉伸试验得到应力-裂缝开口位移曲线如图6所示，由此可得到纤维最大桥接应力σoc和相应的裂缝开口位移δoc，进而根据式(5)可计算出纤维桥接余能
{J}_{\mathrm{b}}{{{'}}} 。结合已经得到的基体初裂强度σcr和基体断裂能Jtip，即可计算出PSHS及PSHE性能指数，结果如表6所示。![]()
图 6 AAFRC的单裂缝拉伸应力-开口位移曲线Figure 6. Stress-crack opening displacement curves of AAFRCfrom single crack tensile tests表 6 AAFRC单裂缝拉伸试验结果与强度指数PSHS及能量指数PSHETable 6. Results from single crack tensile test and strength index PSHS and energy index PSHE of AAFRCMixture Peak stress σoc/MPa Crack opening δoc/mm Jb′/(J·m−2) PSHS PSHE PE/GGBS-SF 3.14±0.05 0.24±0.04 50.23±37.33 1.47±0.11 10.30±7.86 PE/RM-GGBS-SF 3.03±0.09 0.20±0.07 63.58±24.83 1.72±0.39 16.37±8.67 Notes: Jb′—Complementary energy of fibers. 由表6可看出，本研究中两种AAFRC的PSH指数均大于1 (即σoc>σcr，且Jb′>Jtip)，表明产生应变硬化行为的两个核心准则均得到满足，这合理地解释了两种试件表现出明显应变硬化行为(图5)的原因。进一步注意到，两种试件的PSH指数均满足饱和应变硬化条件：PE/GGBS-SF的PSHS指数略大于1.30，PSHE指数远大于3.0；PE/RM-GGBS-SF的两个性能指数均明显大于各自建议值。基于此，两种试件获得较高拉伸应变性能(3%以上)的结果得到了较好的印证。此外，对比PE/GGBS-SF 与PE/RM-GGBS-SF拉伸应变与PSH指数之间的关系，发现随着RM引入后拉伸应变的增加，PSHS和PSHE指数均表现出增加趋势。这从一定程度上说明，使用PSH指数理解本研究中碱激发复合材料体系的拉伸延性行为是可行的。
2.4 AAFRC的水化产物
图7(a)、7(b)分别为矿粉、RM及两种AAFRC试样的XRD图谱。可以看出，矿粉的主要衍射峰为白云石相(CaMg(CO3)2)，RM则为赤铁矿(Fe2O3)和针铁矿(FeO(OH))相。随着碱激发反应的进行，两种AAFRC体系内均未出现白云石相；而PE/RM-GGBS-SF的XRD衍射峰则含有明显的赤铁矿和针铁矿相，这主要与RM的引入密切相关[22]。而且，RM及PE/RM-GGBS-SF的XRD图谱中均出现了较多的赤铁矿衍射峰，这也很好地对应了RM化学组分中较高的Fe2O3含量(表1)。值得注意，两种AAFRC试样的XRD图谱均在20°~36°之间出现了明显的隆起，这是无定形(或类凝胶状)地聚合反应产物的典型衍射模式[29]。即碱激发体系内生成了与地聚合反应产物相似的胶凝物相。不过，引入RM后，隆起部位趋于平缓，这从一定程度上说明了PE/RM-GGBS-SF体系中胶凝产物量的减少，很好地对应了宏观力学强度降低的试验结果。
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图 7 RM和GGBS (a) 及AAFRC (b) 的XRD图谱Figure 7. XRD patterns of RM, GGBS (a) and AAFRC (b)对比图8两种AAFRC的FTIR图谱，发现两种试样的波带起伏状态基本保持一致、不同特征波峰出现的位置没有明显差异，这说明RM的掺入并没有导致新物质的产生。3415 cm−1与1630 cm−1处的波峰分别与(H)—OH基团的伸缩振动、弯曲振动有关[30]，(H)—OH基团可能源自于样品表面的物理吸附水[29]，也可能来自于反应产物中的化学结合水[31]。这两个波峰峰强均比参照试样弱，结合XRD图谱分析结果，可以认为波峰减弱的主要原因为水化产物的减少。1402 cm−1与875 cm−1处的波峰分别对应CO32−基团中C—O—C键的不对称伸缩[31]与平面外弯曲振动[32]，说明两种材料体系内均发生了碳化。根据Yu等[32]和Zhang等[33]的研究，1035 cm−1处波峰的出现归因于Si—O—Al/Si键的不对称伸缩振动，表明体系内有铝硅酸盐无定型产物，例如水化硅铝酸钙(C-A-S-H)及碱性硅铝酸盐(N-A-S-H)凝胶。465 cm−1处的波峰与Si—O—Si键的弯曲振动有关，与其相邻且在较高波数位置(近600 cm−1)波峰的出现则意味着体系内存在有水化硅酸钙(C-S-H)或C-A-S-H凝胶[31]。进一步注意到，RM的掺入导致1035 cm−1及600 cm−1处的波峰峰强均有所减弱，这意味着对应胶凝产物的减少，与XRD分析结果相一致。
3. 结 论
(1) 聚乙烯纤维增强赤泥-碱矿渣复合材料(PE/RM-GGBS-SF)的抗拉强度可以达到2.4 MPa，同时具有与高延性水泥基复合材料相当的高拉伸应变性能，为3.5%；抗压强度可以高达近50 MPa。
(2) 三点抗弯和单裂缝拉伸等细观试验结果可以很好地解释本研究中碱激发纤维增强复合材料(AAFRC)的高延性行为。两种体系均满足实现拉伸应变硬化的两个核心(强度及能量)准则；且PE/RM-GGBS-SF试件的强度指数(PSHS)和能量指数(PSHE)均大于参照试件，很好地对应了其表现出的较大拉伸应变。
(3) XRD和FTIR分析结果显示：赤泥(RM)的引入导致碱激发体系内出现明显的针铁矿及赤铁矿衍射峰；除水化硅酸钙(C-S-H)或水化硅铝酸钙(C-A-S-H)凝胶外，PE/RM-GGBS-SF水化产物中也存在有与地聚合反应产物相似的物相，即碱性硅铝酸盐(N-A-S-H)凝胶。
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图 1 (a) 垂直接触分离式摩擦纳米发电机(TENG)压力传感器结构图；(b) 传感原理示意图；(c) 微结构层压缩变形应力云图
Figure 1. (a) Composition of vertical contact separation-type triboelectric nanogenerator (TENG) structure; (b) Diagram of sensing principle; (c) Stress cloud of dielectric layer with microstructures
PET—Polyethylene terephthalate; CNTs—Carbon nanotubes; PDMS—Polydimethylsiloxane
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图 2 聚己内酯(PCL)纤维支架实物图：(a) 细纤维；(b) 粗纤维；(c) 多尺度纤维
Figure 2. Photograph of polycaprolactone (PCL) fiber film: (a) Fine fiber; (b) Coarse fiber; (c) Multi-scale fiber
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图 3 (a) CNTs/PDMS薄膜制备流程图；(b) 微结构CNTs/PDMS薄膜的光学图像
Figure 3. (a) Schematic of CNTs/PDMS film preparation; (b) Optical image of microstructured CNTs/PDMS film
DCM—Dichloromethane
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图 4 (a) 粗纤维微结构(高度0.15 mm)；(b) 粗细纤维结合微结构(高度0.15 mm)；(c) 粗纤维微结构(高度1.30 mm)；(d) 粗细纤维结合微结构(高度1.30 mm，间距2.50 mm)；(e) 粗细纤维结合微结构(高度1.30 mm，间距2.00 mm)；(f) 粗细纤维结合微结构(高度1.30 mm，间距1.50 mm)；(g) CNTs/PDMS薄膜截面微观形貌SEM图像；(h) 拉伸弯曲测试示意图
Figure 4. (a) Coarse fiber pattern with height of 0.15 mm; (b) Pattern of combined fiber with height of 0.15 mm; (c) Coarse fiber pattern with height of 1.30 mm; (d) Pattern of combined fiber with height of 1.30 mm and spacing of 2.50 mm; (e) Pattern of combined fiber with height of 1.30 mm and spacing of 2.00 mm; (f) Pattern of combined fiber with height of 1.30 mm and spacing of 1.50 mm; (g) SEM images of microstructure morphology in the cross-section of CNTs/PDMS thin film; (h) Tensile and bending test
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图 5 单轴拉伸实验与多层次微结构CNTs/PDMS介电层应力-应变曲线
Figure 5. Uniaxial tensile test and stress-strain curves of hierarchical microstructure CNTs/PDMS dielectric layer
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图 6 CNTs/PDMS薄膜表面微结构对传感器输出电性能影响：(a) 传感性能测试装置示意图；(b) 开路电压；(c) 短路电流
Figure 6. Influence of surface microstructure of CNTs/PDMS films on sensor electrical performance: (a) Schematic diagram of the test setup; (b) Open-circuit voltage; (c) Short-circuit current
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图 7 CNTs/PDMS薄膜表面微结构尺寸对传感器输出电性能影响：(a) 开路电压；(b) 短路电流
Figure 7. Influence of surface microstructure size of CNTs/PDMS films on sensor electrical performance: (a) Open-circuit voltage; (b) Short-circuit current
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图 8 外部载荷对传感器输出电性能影响：(a) 开路电压；(b) 短路电流；(c) 灵敏度
Figure 8. Influence of external load on sensor electric performance: (a) Open-circuit voltage; (b) Short-circuit current; (c) Sensitivity
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图 9 传感器循环耐久实验：(a) 载荷频率对传感器输出电性能的影响；(b) 20000次循环下传感器的电压稳定性测试
Figure 9. Sensor cycle durability experiment: (a) Influence of load frequency on sensor output electrical performance; (b) Voltage stability test of the sensor under 20000 cycles
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图 10 微结构传感单元的足底压力分布与步态检测：(a) 传感单元分布示意图；(b) 负摩擦面实物图；(c) 触地期；(d) 支撑期；(e) 离地期
Figure 10. Plantar pressure distribution and gait detection of microstructured sensor unit: (a) Schematic diagram of sensor unit distribution; (b) Photo of negative friction surface; (c) Contact phase; (d) Support phase; (e) Swing phase
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图 11 不同运动状态下微结构传感单元的压力分布与输出电压：(a) 行走时输出电压信号；(b) 奔跑时输出电压信号；(c) 跳跃时输出电压信号
Figure 11. Pressure distribution and output voltage of microstructured sensor unit under different motion states: (a) Output voltage signal during walking; (b) Output voltage signal during running; (c) Output voltage signal during jumping
表 1 多层次微结构CNTs/PDMS传感器与其他同类压力传感器的性能比较
Table 1 Performance comparison between hierarchical microstructured CNTs/PDMS sensors and other similar pressure sensors
Key material Sensitivity Open-circuit voltage/V Short-circuit current/μA Cycle Ref. CNT/PDMS 0.5 V/kPa 4.0 3.0 10000 [28] CNT/PDMS 0.122 V/kPa 31 — 10000 [35] CNT/PDMS — 42 1.6 — [36] Polyacrylamide (PAAm)-LiCl 0.013 V/kPa 4.0 1.5 5000 [37] Fluorinated ethylene propylene (FEP) 0.04 V/kPa 15 — 10000 [38] PDMS — 16.2 0.512 — [30] CNTs/PDMS 0.437 V/kPa, 0.015 μA/kPa 50.8 1.85 20000 This work 
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[1] TERADA T, TOYOURA M, SATO T, et al. Functional fabric pattern-examining the case of pressure detection and localization[J]. IEEE Transactions on Industrial Electronics,2019,66(10):8224-8234. DOI: 10.1109/TIE.2018.2885692
[2] TESSAROLO M, GUALANDI I, FRABONI B. Recent progress in wearable fully textile chemical sensors[J]. Advanced Materials Technologies,2018,3(8):1-7.
[3] PAN M, YUAN C G, ANPALAGAN H, et al. Soft controllable carbon fibre-based piezoresistive self-sensing actuators[J]. Actuators,2020,9(3):79. DOI: 10.3390/act9030079
[4] WANG H Y, LIU Z F, DING J N, et al. Downsized sheath-core conducting fibers for weavable superelastic wires, biosensors, supercapacitors, and strain sensors[J]. Advanced Materials,2016,28(25):4998-5007. DOI: 10.1002/adma.201600405
[5] PANG Y, TIAN H, TAO L Q, et al. Flexible, highly sensitive, and wearable pressure and strain sensors with graphene porous network structure[J]. ACS Applied Materials & Interfaces,2016,8(40):26458-26462. DOI: 10.1021/acsami.6b08172
[6] HAMMOCK M L, CHORTOS A, TEE B C K, et al. The evolution of electronic skin (e-skin): A brief history, design considerations, and recent progress[J]. Advanced Materials,2013,25(42):5997-6038. DOI: 10.1002/adma.201302240
[7] 金凡, 吕大伍, 张天成, 等. 基于微结构的柔性压力传感器设计、制备及性能[J]. 复合材料学报, 2021, 38(10):3133-3150. JIN Fan, LYU Dawu, ZHANG Tiancheng, et al. Design, fabrication and performance of flexible pressure sensors based on microstructures[J]. Acta Materiae Compositae Sinica,2021,38(10):3133-3150(in Chinese).
[8] BAUER S, BAUER-GOGONEA S, GRAZ I, et al. A soft future: From robots and sensor skin to energy harvesters[J]. Advanced Materials,2014,26(1):149-162. DOI: 10.1002/adma.201303349
[9] WANG S H, NIU S M, YANG J, et al. Quantitative measurements of vibration amplitude using a contact-mode freestanding triboelectric nanogenerator[J]. ACS Nano,2014,8(12):12004-12013. DOI: 10.1021/nn5054365
[10] ZHENG Q, SHI B J, FAN F R, et al. In vivo powering of pacemaker by breathing-driven implanted triboelectric nanogenerator[J]. Advanced Materials,2014,26(33):5851-5856. DOI: 10.1002/adma.201402064
[11] PARK J, LEE Y, HONG J, et al. Giant tunneling piezoresistance of composite elastomers with interlocked microdome arrays for ultrasensitive and multimodal electronic skins[J]. ACS Nano,2014,8(5):4689-4697. DOI: 10.1021/nn500441k
[12] ZANG Y P, ZHANG F J, DI C A, et al. Advances of flexible pressure sensors toward artificial intelligence and health care applications[J]. Materials Horizons,2015,2(2):140-156. DOI: 10.1039/C4MH00147H
[13] TRESSLER J F, ALKOY S, NEWNHAM R E. Piezoelectric sensors and sensor materials[J]. Journal of Electroceramics,1998,2(4):257-272. DOI: 10.1023/A:1009926623551
[14] HA M, PARK J, LEE Y, et al. Triboelectric generators and sensors for self-powered wearable electronics[J]. ACS Nano,2015,9(4):3421-3427. DOI: 10.1021/acsnano.5b01478
[15] LIN Z H, XIE Y N, YANG Y, et al. Enhanced triboelectric nanogenerators and triboelectric nanosensor using chemically modified TiO2 nanomaterials[J]. ACS Nano,2013,7(5):4554-4560. DOI: 10.1021/nn401256w
[16] XIA X N, LIU G L, GUO H Y, et al. Honeycomb-like three electrodes based triboelectric generator for harvesting energy in full space and as a self-powered vibration alertor[J]. Nano Energy,2015,15:766-775. DOI: 10.1016/j.nanoen.2015.05.033
[17] WANG C F, PAN C F, WANG Z L. Electronic skin for closed-loop systems[J]. ACS Nano,2019,13(11):12287-12293. DOI: 10.1021/acsnano.9b06576
[18] WANG S H, XIE Y N, NIU S M, et al. Freestanding triboelectric-layer-based nanogenerators for harvesting energy from a moving object or human motion in contact and non-contact modes[J]. Advanced Materials,2014,26(18):2818-2824. DOI: 10.1002/adma.201305303
[19] FAN F R, TIAN Z Q, WANG Z L. Flexible triboelectric generator[J]. Nano Energy,2012,1(2):328-334. DOI: 10.1016/j.nanoen.2012.01.004
[20] MENG X S, ZHU G A, WANG Z L. Robust thin-film generator based on segmented contact-electrification for harvesting wind energy[J]. ACS Applied Materials & Interfaces,2014,6(11):8011-8016. DOI: 10.1021/am501782f
[21] ZHU G A, SU Y J, BAI P, et al. Harvesting water wave energy by asymmetric screening of electrostatic charges on a nanostructured hydrophobic thin-film surface[J]. ACS Nano,2014,8(6):6031-6037. DOI: 10.1021/nn5012732
[22] HU Y F, YANG J, JING Q S, et al. Triboelectric nanogenerator built on suspended 3D spiral structure as vibration and positioning sensor and wave energy harvester[J]. ACS Nano,2013,7(11):10424-10432. DOI: 10.1021/nn405209u
[23] YANG J, CHEN J, LIU Y, et al. Triboelectrification-based organic film nanogenerator for acoustic energy harvesting and self-powered active acoustic sensing[J]. ACS Nano,2014,8(3):2649-2657. DOI: 10.1021/nn4063616
[24] YANG W Q, CHEN J, ZHU G A, et al. Harvesting energy from the natural vibration of human walking[J]. ACS Nano,2013,7(12):11317-11324. DOI: 10.1021/nn405175z
[25] PARK J H, WU C, SUNG S, et al. Ingenious use of natural triboelectrification on the human body for versatile applications in walking energy harvesting and body action monitoring[J]. Nano Energy,2019,57:872-878. DOI: 10.1016/j.nanoen.2019.01.001
[26] ZHAO L M, ZHENG Q, OUYANG H, et al. A size-unlimited surface microstructure modification method for achieving high performance triboelectric nanogenerator[J]. Nano Energy,2016,28:172-178. DOI: 10.1016/j.nanoen.2016.08.024
[27] 刘荆堰, 陈子航, 姜啟恒, 等. PVDF/SBS柔性复合纤维薄膜压电-摩擦电纳米发电机[J]. 复合材料学报, 2023, 40(7):4022-4029. LIU Jingyan, CHEN Zihang, JIANG Qiheng, et al. Piezoelectric/triboelectric nanogenerator based on PVDF/SBS flexible composite fiber film[J]. Acta Materiae Compositae Sinica,2023,40(7):4022-4029(in Chinese).
[28] RASEL M S, MAHARJAN P, SALAUDDIN M, et al. An impedance tunable and highly efficient triboelectric nanogenerator for large-scale, ultra-sensitive pressure sensing applications[J]. Nano Energy,2018,49:603-613. DOI: 10.1016/j.nanoen.2018.04.060
[29] ZHANG X S, HAN M D, WANG R X, et al. Frequency-multiplication high-output triboelectric nanogenerator for sustainably powering biomedical microsystems[J]. Nano Letters,2013,13(3):1168-1172. DOI: 10.1021/nl3045684
[30] UDDIN A S M I, CHUNG G S. A self-powered active hydrogen sensor based on a high-performance triboelectric nanogenerator using a wrinkle-micropatterned PDMS film[J]. RSC Advances,2016,6(67):63030-63036. DOI: 10.1039/C6RA07179A
[31] FAN F R, LIN L, ZHU G, et al. Transparent triboelectric nanogenerators and self-powered pressure sensors based on micropatterned plastic films[J]. Nano Letters,2012,12(6):3109-3114. DOI: 10.1021/nl300988z
[32] DAGDEVIREN C, LI Z, WANG Z L. Energy harvesting from the animal-human body for self-powered electronics[J]. Annual Review of Biomedical Engineering,2017,19:85-108. DOI: 10.1146/annurev-bioeng-071516-044517
[33] NIU S M, WANG S H, LIN L, et al. Theoretical study of contact-mode triboelectric nanogenerators as an effective power source[J]. Energy and Environmental Science,2013,6(12):3576-3583. DOI: 10.1039/c3ee42571a
[34] CHEN J E, GUO H Y, HE X M, et al. Enhancing performance of triboelectric nanogenerator by filling high dielectric nanoparticles into sponge PDMS film[J]. ACS Applied Materials & Interfaces,2016,8(1):736-744. DOI: 10.1021/acsami.5b09907
[35] 肖渊, 刘进超, 吕晓来, 等. CNT/PDMS介电层微结构成型及摩擦纳米发电机制备[J]. 机械工程学报, 2021, 57(15):177-185. DOI: 10.3901/JME.2021.15.177 XIAO Yuan, LIU Jinchao, LYU Xiaolai, et al. Preparation of triboelectric nanogenerators with CNT-containing and micro-structure PDMS composite films[J]. Journal of Mechanical Engineering,2021,57(15):177-185(in Chinese). DOI: 10.3901/JME.2021.15.177
[36] VAFAIEE M, EJEHI F, MOHAMMADPOUR R. CNT-PDMS foams as self-powered humidity sensors based on triboelectric nanogenerators driven by finger tapping[J]. Scientific Reports, 2023, 13: 370.
[37] HAN X, JIANG D J, QU X C, et al. A stretchable, self-healable triboelectric nanogenerator as electronic skin for energy harvesting and tactile sensing[J]. Science Advances,2021,14(7):1689. DOI: 10.3390/ma14071689
[38] BAI P, ZHU G, JING Q S, et al. Membrane-based self-powered triboelectric sensors for pressure change detection and its uses in security surveillance and healthcare monitoring[J]. Advanced Functional Materials,2014,24(37):5807-5813. DOI: 10.1002/adfm.201401267
[39] LIEBERMAN D E, VENKADESAN M, WERBEL W A, et al. Foot strike patterns and collision forces in habitually barefoot versus shod runners[J]. Nature,2010,463(7280):531-535. DOI: 10.1038/nature08723
-
期刊类型引用(3)
1. 程超，张晨宇，裴志磊，陈正国，周飞，周金利，张辉，孙泽玉，余木火. 双环戊二烯单体预聚增粘及其碳纤维增强复合材料性能评价. 复合材料学报. 2024(01): 155-169 . 
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2. 郝励. 碳纤维对SiC陶瓷基材料的导热性能影响研究. 化学与粘合. 2024(03): 235-239 . 百度学术
3. 柯锋，王朝恩. 热压制备的碳纤维复合材料不同温度的机械性能测试. 粘接. 2023(10): 112-114 . 百度学术
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目的
随着柔性电子技术的发展，柔性压力传感器作为能够实现对外界信号精确感知的基础性核心元器件之一，成为国内外同行关注的焦点。然而，现有柔性压力传感器在灵敏度、线性感测范围、稳定性、工作寿命等方面仍然无法满足特定应用场景的需求。因此，高性能的柔性压力传感器拥有巨大的产业与市场需求，而如何突破技术瓶颈来提高现有柔性压力传感器的性能是该领域面临的一大挑战。近年来，在活性层构筑微结构成为提高柔性压力传感器性能的重要技术手段之一，然而现有在表面构筑微结构的方法存在耗时长、成本高、操作复杂等问题，且在微结构表面功能多样化方面也存在较大的局限。
方法微结构柔性薄膜制备过程主要由三个步骤组成：(1)制备牺牲支架；(2)涂覆固化聚二甲基硅氧烷(Polydimethylsiloxane, PDMS)；(3)剥离PDMS。(1)首先采用近场直写与熔融沉积成型一体化成形工艺在亚克力薄片上制备出具有多层次微结构的聚己内酯(Polycaprolactone, PCL)模具，并将其和亚克力薄片用3M胶带粘附在玻璃皿底面上。然后将PDMS和固化剂按质量比为10:1搅拌混合，随后在微量天平称取质量分数为1 %的碳纳米管(Carbon nanotubes, CNTs)将其倒入PDMS溶液中，将CNTs/PDMS混合溶液作为柔性传感器的介电层材料。最后将薄膜在二氯甲烷溶液中浸泡，将PCL纤维支架牺牲溶解，最终得到基于微纳米纤维构筑的多层次CNTs/PDMS微结构薄膜。将制备的介电层组装成自供电柔性传感器之后，对柔性传感器进行往复压力实验，进一步研究了多层次微结构的设计参数对其传感性能的影响。最后，设计了一款用于观察足底压力分布以及步态检测的柔性压力传感鞋垫，借助多通道电压检测设备，记录行走、跑步、跳跃不同工况下的电压输出信号。
结果通过往复式实验结果表明，本文设计的多层次表面微结构能显著增强柔性传感器的输出电性能。随着微结构的逐渐复杂化，加载压力的逐渐增大，输出电性能的峰值也逐渐增大。两者都将导致柔性传感的介电层与电极之间的有效摩擦面积增大，使更多的电荷被转移和积累在电极表面，从而增加了传感器的输出电性能。其中高度1.3 mm，间距1.5 mm的多层次微结构柔性压力传感器在频率为3 Hz，压力载荷为14 N下输出电性能最为优异，开路电压峰值为50.8 V，短路电流峰值为1.85 μA。对制备的传感器经过20000次循环测试，表现出良好的稳定性与耐久性。通过柔性传感鞋垫研究实验，证明了本文设计的多层次微结构柔性鞋垫能够有效的观察人足的受力情况，进行步态检测，为推动了足底步态检测的实现和推广提供技术支撑。
结论本文提出了一种基于微纳米纤维的多层次微结构柔性压力传感器的设计与制备方法，并对其传感进行了研究，主要结论如下：(1)采用近场直写与熔融沉积成型一体化工艺制备了多尺度纤维支架，再通过倒模牺牲法制备出具有多层次微结构的柔性介电层，并基于摩擦纳米发电机的原理，设计具有多层次微结构的压力传感器。(2)探究了微结构及其设计参数、施加载荷等因素对传感器性能的影响。结果表明，微结构的尺度与尺寸对输出电信号有显著影响；输出电信号能较好地反映施加载荷的大小；循环耐久性实验结果表明制备的传感器具有良好的稳定性。(3)设计制造了基于多层次微结构柔性传感器的鞋垫并进行测试，在步行、奔跑、跳跃三种不同运动状态下对实验者的足底压力分布和步态进行观察分析，均能准确地进行监测，为足底步态检测提供了可靠的技术支持。
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随着柔性电子技术的发展，柔性压力传感器作为能够实现对外界信号精确感知的基础性核心元器件之一，成为国内外同行关注的焦点。然而，现有柔性压力传感器在灵敏度、线性感测范围、稳定性、工作寿命等方面仍然无法满足特定应用场景的需求。因此，高性能的柔性压力传感器拥有巨大的产业与市场需求，而如何突破技术瓶颈来提高现有柔性压力传感器的性能是该领域面临的一大挑战。近年来，在活性层构筑微结构成为提高柔性压力传感器性能的重要技术手段之一，然而现有在表面构筑微结构的方法存在耗时长、成本高、操作复杂等问题，且在微结构表面功能多样化方面也存在较大的局限。
针对上述问题，本文提出了一种基于微纳米纤维构筑的多层次微结构设计与快速制备方法。首先采用近场直写与熔融沉积成型一体化成形工艺制备出具有多层次微结构的聚己内酯(PCL)模具，在聚二甲基硅氧烷(PDMS)中掺杂碳纳米管(CNTs)作为柔性传感器的介电层材料，通过牺牲模板法实现具有多层次微结构的CNTs/PDMS柔性介电层制备。将制备的介电层组装成自供电柔性传感器之后，进一步研究了多层次微结构的设计参数对其传感性能的影响。实验结果表明，设计的表面微结构能显著增强柔性传感器的输出电性能。其中高度1.3 mm，间距1.5 mm的多层次微结构柔性压力传感器在频率为3 Hz，压力载荷为14 N下输出电性能最为优异，开路电压峰值为50.8 V，短路电流峰值为1.85 μA。制备的传感器经过20000次循环测试，表现出良好的稳定性与耐久性。最后，设计了一款用于观察足底压力分布以及步态检测的柔性压力传感鞋垫，结果表现出良好灵敏度和稳定性。本研究为低成本快速制备多层次微结构提供了新的思路，为制备高性能柔性压力传感器提供参考与借鉴。
图 (a)近场直写与熔融沉积成型一体化打印的多尺度纤维；(b)多层次微结构介电层形貌；(c)自供电柔性传感器组装图；(d)灵敏度测试；(e)稳定性测试；(f)检测步态应用
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